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为提高图形化干涉光刻质量,提出了基于闪耀光栅的图形化干涉光刻(PIIL)系统,并对该系统所采用的光学原理和实现方法进行了研究。首先,分析了图形化干涉光刻系统的光场特性,阐述了其分辨率提升的原理。讨论了光学系统带宽和图案分布对光刻图形质量的影响,给出了图形质量控制的工艺方法。其次,提出了一种新型的图形化干涉光刻方法,该方法采用闪耀光栅作为衍射分光器件,实现了位相和振幅的一体化调制。采用数值计算方法模拟了闪耀光栅的衍射特性和像面光场分布,讨论了闪耀光栅的优化设计方法,获得了高达92.3%的±1级衍射效率。最后,基于数字微镜器件(DMD)和微缩成像光路设计开发了图形化干涉光刻系统,实验获得了像素化的点阵图形和质量明显改善的光刻图像,验证了该方法对任意图形的适用性。 相似文献
55.
鉴于直接自适应插补容易在加工过程中引起较大的速度波动,而按曲率极值点对NURBS曲线进行分段插补造成加减速过程中加速度和加加速度超限,提出一种基于干涉预处理的非均匀有理B样条曲线前瞻控制插补算法。首先对曲线进行自适应处理,得到各自适应插补点的运动参数;然后找出其中加速度或加加速度超限的点(即危险点),并对这些点的速度进行前瞻控制,根据前瞻控制信息对相邻危险点进行干涉处理,最终得到用来对曲线分段的危险点信息和相应的控制策略;最后根据各危险点之间的干涉类型对曲线进行实时插补。仿真实验表明,该算法能够在保证加工精度的前提下,实现进给速度的平滑过渡,并且能够保证加速度和加加速度不超限。 相似文献
56.
研究了单自由度磁悬浮轴承的干扰抑制问题。为了不失一般性,用高斯白噪声信号来模拟干扰信号。以Matlab为设计平台,用遗传算法设计了PID控制器,给出了干扰抑制的仿真结果。结果表明,遗传算法整定参数的PID控制器具有响应快速、超调量小,对大扰动的抑制较好的特点。 相似文献
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Petros Bithas Athanasios Rontogiannis 《Wireless Communications and Mobile Computing》2016,16(16):2700-2713
A new user selection strategy is investigated and analyzed in a multiuser relaying environment in the presence of co‐channel interference. The proposed selection scheme aims at avoiding unnecessary feedback load processing, in cases where a target threshold, in the received instantaneous signal‐to‐noise ratio, is exceeded. Assuming that perfect channel state information is available, closed‐form lower bound expressions are derived for the cumulative distribution function of the output signal to interference plus noise ratio. Moreover, the impact of outdated channel state information on the system's performance is also investigated. In addition, under the assumption of high signal‐to‐noise ratio conditions, simplified approximated expressions are also provided for the cumulative distribution functions of the output signal to interference plus noise ratio, which are employed to study the outage probability and bit error probability performance of the system. It is shown that with the proposed approach, a significant reduction in feedback load processing is achieved, with only a slight loss in performance. Copyright © 2016 John Wiley & Sons, Ltd. 相似文献
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针对实验室干扰消除装置测试系统仪器较多位置分布较远,测控过程中需要操作的项目繁琐重复的问题,利用LabVIEW虚拟仪器软件开发平台和LXI总线技术开发了一套自动测试系统。该系统结合现实需求,成功与仪器进行通信,能实现试验中仪器参数的设置、波形的读取和测量以及数据的保存等功能,且可以完成信号变频、变幅、调制等多种组合情况下的自动滤波除去干扰,结果表明系统具有良好的人机交互界面,运行过程稳定、高效、自动化程度高,可扩展性好,具有很好的应用前景。 相似文献
59.
特高压线路工频参数测试干扰分析是选择适合工频参数测试方法及测试结果分析的重要基础。测试了1 000 kV皖南-浙北特高压线路正序和零序参数测试期间的干扰电压信号,分析了其频谱特征;在此基础上,通过与正序参数仿真计算值的对比分析了正序参数实际测试偏差。结果表明:皖南-浙北特高压同塔双回线路工频参数测试期间,干扰电压存在“三相不平衡性及时变性”的特点;工频法和异频法2种不同方法得到的线路参数测试结果存在一定差异;干扰电压“时变”时,线路工频参数测试宜采用异频法。 相似文献
60.
结合现场实测,对CRH380BL型动车组速度传感器的电磁干扰问题进行了研究。首先分析了开关型霍尔传感器自身具有良好的抗干扰能力,指出当降弓时产生的电弧放电在车体上产生过电压时将会对其产生干扰。然后采用电偶极子理论分析了降弓时激发的电磁场的特性,从磁场在介质表面切向分量不连续的角度分析了车体过电压产生的原因,最后从传感器传输电缆屏蔽层接地方式的角度分析了车体过电压对传感器的干扰耦合机理。结果表明:降弓时产生的磁场强度最大值为54.07 d BμA/m,且频率主要分布在5 MHz附近,2号车厢车体过电压达600 V以上。车体骚扰电压会通过电缆屏蔽层与芯线间的寄生电容耦合到芯线内,对芯线中传输的速度信号造成干扰。通过在1车新增保护接地线后,有效地减小了电弧放电对速度传感器的电磁干扰。 相似文献